ICP質(zhì)譜儀是一種高靈敏度的分析儀器，在環(huán)境監(jiān)測、生物醫(yī)學、地質(zhì)勘探等領域發(fā)揮著重要作用。

　　ICP質(zhì)譜儀基于帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理，將電感耦合等離子體(ICP)技術與質(zhì)譜(MS)技術相結合進行元素分析。樣品先被引入高溫等離子體炬管中，樣品基體被離子化形成諸多粒子，其中待測元素離子化的部分是分析對象。這些離子被純化提取出來后引入質(zhì)譜儀部分，在質(zhì)譜儀中，離子根據(jù)其質(zhì)荷比(m/z)進行分離，不同質(zhì)荷比的離子在電場和磁場的作用下沿不同路徑運動，然后到達檢測器被檢測到電信號并記錄到軟件中，進而得出樣品中各元素的性質(zhì)和含量信息。

　　ICP質(zhì)譜儀較為重要的應用是分離同位素并測定它們的原子質(zhì)量及相對豐度。測定原子質(zhì)量的精度超過化學測量方法，大約2/3以上的原子的質(zhì)量是用質(zhì)譜方法測定的。由于質(zhì)量和能量的當量關系，由此可得到有關核結構與核結合能的知識。對于可通過礦石中提取的放射性衰變產(chǎn)物元素的分析測量，可確定礦石的地質(zhì)年代。

　　質(zhì)譜方法還可用于有機化學分析，特別是微量雜質(zhì)分析，測量分子的分子量，為確定化合物的分子式和分子結構提供可靠的依據(jù)。由于化合物有著像指紋一樣的特殊質(zhì)譜，ICP質(zhì)譜儀在工業(yè)生產(chǎn)中也得到廣泛應用。